半導体分野

高精度液温コントロール

ウェハー装置、エッチング装置、検査装置に利用されております。高精度仕様はPID＋インバーター同時制御により±0.3℃以下を実現。センシングによる安全保護機能を備え、24時間安定して稼働します。温度切り替えの安定性と短時間化（整定時間10分間以内）・低フットプリント ・省エネ対応（冷凍機からの排熱エネルギーを利用）でお客様の生産に寄与致します。

ケーブルドラッグチェーン

低発塵、静電気防止、抗菌材質を採用し、ダストの放出量が極めて低く、クリーンルームの基準を満たします。 消毒剤、化学腐食に強く、柔軟性が高く、曲げに強く、半導体設備、医療検査機器、手術ロボットなどのハイエンド設備に適しております。

半導体設備専用ねじ (クリーン/緩み防止/特殊材質＆コーティング) 

高清浄、無磁性、高精度、低発塵で、彫刻機、エッチング機、フィルム設備などのクリーンルームのシーンに適しています。

専用工具

半導体の狭い空間に設置するツールは、設備内部の密集したモジュール、狭いキャビティ、マイクロコンポーネントの組み立てとメンテナンスに特化して設計されております。微細化、細長いタイプ、コーナー、ラチェット、偏向構造を採用して、5mmの隙間に深く入り込んで正確に作業できます。他の部品と干渉せず、クリーンな環境を維持出来ます。

自動化設備

液晶や半導体のプラスチックシールの投入、取出しの材料設備は、協働ロボットを搭載し、正確な自動供給を実現し、

高効率な生産を実現致します。